擴散硅壓力變送器采用具有國際先進技術(shù)進口陶瓷傳感器,再配以高精密電子元件,經(jīng)嚴格要求的工藝過程裝配而成。其抗過載和抗沖擊能力強,過壓可達量程的數(shù)倍,甚至用硬物直接敲打測量元件也不致使其損壞,且對測量精度毫無影響。本文小編要給大家講述的是它的結(jié)構(gòu)組成以及它的工作原理是什么,希望大家通過閱讀本篇文章能夠?qū)U散硅壓力變送器有更深層次的了解。
擴散硅壓力變送器的結(jié)構(gòu)組成:
由于傳感器的輸出是非標準信號,因此在實際應(yīng)用中,為了使傳感器通用并便于信號傳輸和記錄,傳感器與標準信號輸入電路配合使用以使其輸出標準信號。此時,輸出標準信號的傳感器稱為發(fā)送器。
簡而言之,發(fā)射器是從傳感器逐漸發(fā)展而來的。本文研究的擴散硅壓力變送器主要由MEMS傳感器,測量膜盒和接口與處理電路(智能電路板)三大部分組成。
壓力傳感器和二極管溫度傳感器一起包裝在測量膜盒的頂部,膜盒體被兩個密封法蘭夾住,形成變送器的測量部分,該變送器負責(zé)將要測量的壓力信號轉(zhuǎn)換為工作現(xiàn)場變成電壓信號。另外,電子電路板,液晶顯示頭和連接端子構(gòu)成顯示部分,其負責(zé)通過放大和兩線信號處理將傳感器輸出的電壓信號轉(zhuǎn)換為4-20mA,然后輸出標準電流信號。
擴散硅壓力變送器的工作原理:
基于單晶硅的壓阻效應(yīng),在硅片上按一定方向使用MEMS處理技術(shù)制成彈性元件,并通過集成電路技術(shù)在適當(dāng)位置制作了四個電阻相等的力敏電阻。進入惠斯通電橋。恒定電壓(電流)施加到電橋,并且測得的壓力通過密封在測量盒中的硅油無損失地傳輸?shù)焦栊酒W兯推鬏敵雠c被測壓力成線性比例的電壓信號,然后將該電壓信號放大并通過電子電路轉(zhuǎn)換為兩線標準信號。
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